삼성전자 협력사 육성 결실... 장비·소재 개발
삼성전자 협력사 육성 결실... 장비·소재 개발
  • 김주연 기자
  • 승인 2020.06.25 15:15
  • 댓글 0
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이오테크닉스의 레이저 어닐링 장비, 싸이노스의 세라믹 파우더 등
원익IPS, 테스, 유진테크, PSK 등과 MOU 맺고 7월부터 공동개발 개시
이오테크닉스는 그동안 수입에 의존하던 레이저 어닐링 장비를 삼성전자와 공동 개발해 D램 미세화 과정에서 고질적으로 발생하는 불량 문제를 해결했다./삼성전자

삼성전자(대표 김기남·김현석·고동진)는 국내 반도체 생태계 강화를 위해 해온 노력이 하나 둘 결실을 맺고 있다고 26일 밝혔다.

이 회사는 2010년대 초반부터 주요 설비, 부품 협력사와 함께 자체 기술개발에 노력해 왔다. 

이오테크닉스는 그동안 수입에 의존하던 레이저 어닐링 장비를 삼성전자와 공동 개발해 D램 미세화 과정에서 고질적으로 발생하는 불량 문제를 해결했다. 레이저 어닐링 장비는 열처리 장비(RTP)와 달리 레이저로 웨이퍼 표면 위 국소부위의 온도만 급격히 올리는 장비로, 단층을 이루는 분자간 결합 등 미세구조(Microstructure)를 복원하거나 소자와 금속 배선을 연결하는 접합(contact) 중 하나인 오믹 접합(Ohmic contact)을 형성할 때 쓰인다.

싸이노스는 반도체 식각공정 효율화에 필요한 세라믹 파우더를 개발하고 리코팅 기술 내재화에 성공해 식각공정 제조 비용 절감과 생산성을 높이는데 기여했다. 반도체 식각 장비는 수율을 유지하기 위해 설비 내부를 주기적으로 다시 코팅해야하는데, 세라믹파우더는 이 코팅을 하는 특수 재료다. 

솔브레인은 삼성전자와 협력을 통해 3D 낸드플래시 식각공정의 핵심소재인 '고선택비 인산'을 세계 최초로 개발, 삼성전자 차세대 제품의 품질을 크게 향상시켰다. 인산은 불산(HF)과 함께 식각 공정에서 가장 많이 쓰이는 물질로, 타겟 물질만 정확하게 선택적으로 녹여내도록 만든 소재다.

성규동 레이저 설비 협력사 이오테크닉스 대표는 "8년 간에 걸친 삼성전자와의 연구개발 성과로 설비 개발에 성공해 회사 임직원들도 큰 자부심을 느꼈다"며, "앞으로도 혁신을 통한 반도체 경쟁력 강화 노력을 지속해 나갈 것"이라고 말했다.

삼성전자는 지난 4월 원익IPS, 테스, 유진테크, PSK 등 국내 주요 설비협력사, 2~3차 부품 협력사와 업무협약(MOU)을 체결하고 오는 7월부터 설비부품 공동개발을 본격적으로 시작하기로 했다. 설비사가 필요한 부품을 선정하면 삼성전자-설비사-부품사가 공동개발을 진행하는 방식이다. 삼성전자는 설비부품의 개발과 양산 평가를 지원한다.

또 중소 설비·부품사를 대상으로 반도체 제조와 품질 노하우를 전수하는 컨설팅도 진행한다. 다음달 시작되는 이 컨설팅은 국내 반도체 중소 기업들이 글로벌 수준의 품질 경쟁력을 확보하는 데 기여할 것으로 기대된다.

이와 함께 삼성전자에 신청한 24개 협력사를 대상으로 개발, 제조, 품질, 환경안전, 인사, 기획/경영, 영업/마케팅, 정보보호, 구매 등 총 9개 분야에 대해 전방위적인 경영자문도 병행해 나갈 예정이다.

이외에도 삼성전자는 반도체 각 사업장에 상주하는 우수 협력사를 대상으로 2010년부터 인센티브 제도를 운영해오고 있으며, 현재까지 지급된 규모는 총 3476억5000만원에 달한다.

이와 함께 삼성전자는 산학협력을 통해 'K칩 시대'를 이끌 미래 반도체 인재를 육성하는 데 힘쓰고 있다.

삼성전자는 우선 국책 반도체 특성화 대학인 한국폴리텍대학 안성캠퍼스에 반도체 Asher(공정장비), AFM(계측장비)을 기증해 학생들이 반도체 제조 공정을 직접 실습할 수 있도록 지원하고 있다. 

또 올해 인공지능(AI) 등 4차 산업혁명 핵심 분야에 전문성을 갖춘 우수 인재 양성을 위해 서울대학교와 함께 '인공지능반도체공학 연합전공'을 신설했다. 삼성전자는 연합전공 소속 학생들에게 ▲산업체 인턴십 기회 제공 ▲반도체 소자·회로와 시스템 제작 실습 ▲반도체 설계 단기 교육프로그램 참여 ▲국내외 반도체 전문가 초청 특강 등 다양한 지원을 하게 된다.

삼성전자는 지난 2018년 8월 서울대학교와 '국내 반도체 분야 발전과 미래 인재 양성을 위한 산학협력' 협약을 맺기도 했다.

이 밖에도 연세대·성균관대와 반도체학과를 운영하는 등 다양한 방법으로 미래 인재를 육성하고 국내 반도체 산학협력 생태계를 구축해 나간다는 계획이다.


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