마이크론은 왜 EUV 대신 액침불화아르곤(ArFi) 노광 기술을 고집할까
마이크론은 왜 EUV 대신 액침불화아르곤(ArFi) 노광 기술을 고집할까
  • 김주연 기자
  • 승인 2020.03.28 10:58
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시장 특성상 ROI 확보 어려워... 삼성·하이닉스도 1z에서 1α나노로 적용 미뤄
채산성 높이기 위해서는 생산 물량 늘려야 하는데 3위 입장에선 쉽지 않아
로직(Logic)에 이어 D램에도 극자외선(EUV) 공정이 도입된다.

삼성전자가 업계 처음으로 EUV 공정 기반의 1α나노(14나노) D램 양산 체제를 구축했다. SK하이닉스 역시 차세대 D램에 EUV 기술을 적용할 계획이다. 삼성전자와 마찬가지로 1α 나노부터다.

반면 마이크론은 1c나노까지 액침불화아르곤(Ar...
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