SKC, 하이엔드급 블랭크마스크 국산화 박차
SKC, 하이엔드급 블랭크마스크 국산화 박차
  • 안석현 기자
  • 승인 2020.03.26 11:19
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SKC 연구원이 시생산된 블랭크마스크를 들여다보고 있다. /사진=SKC
SKC 연구원이 시생산된 블랭크마스크를 들여다보고 있다. /사진=SKC

SKC가 반도체 노광공정 핵심소재로 쓰이는 블랭크마스크, 그 중에서도 하이엔드급 제품 국산화를 추진한다. 블랭크마스크는 반도체 웨이퍼에 전자회로 패턴을 새길 때 쓰이는 핵심소재다. 하이엔드 제품은 호야 등 일본 회사들 제품에 크게 의존하고 있다. 

SKC는 충남 천안 공장에서 하이엔드급 블랭크마스크 시제품 생산을 본격화했다고 26일 밝혔다. 지난해 12월 완공한 SKC의 블랭크마스크 공장은 약 430억원의 건설비가 투입됐다. 고객사 인증을 거쳐 올해 상업 생산에 돌입하는 게 목표다. 

블랭크마스크는 쿼츠(석영) 위에 금속막과 감광막을 도포해 만든다. 블랭크마스크에 반도체 회로 패턴을 그리면 포토마스크가 완성된다. 노광장비 안에서 포토마스크를 통과한 빛이 웨이퍼 위에 닿으면 회로 패턴이 새겨진다. 포토마스크가 도장이면, 블랭크마스크는 도장을 새기기 위한 원목인 셈이다.  

블랭크 마스크 시장 규모는 매년 커지고 있다. 반도체 제조사가 적극적으로 증설에 나서면서 수요가 늘고 있고, 공정이 미세화되면서 공정별 사용량이 증가했기 때문이다. SKC 자체 조사에 따르면 2018년 8000억원 수준이었던 세계 시장 규모는 매년 7%씩 성장해 2025년 1조3000억원 수준까지 늘어날 전망이다. 

이중 95% 가량을 호야⋅울코트 등 일본 업체가 과점하고 있다. 특히 하이엔드급 시장은 이들 회사가 99% 이상 차지할 정도로 진입장벽이 높다. 우리나라도 반도체 제조에 필요한 하이엔드 블랭크마스크 대부분을 수입에 의존하고 있다.

고품질 블랭크마스크 제조를 위해서는 금속막과 감광막을 나노미터 단위로 얇게 도포하는 기술이 필요하다. 또 이물이 들어가지 않게 초청정 무진 관리도 중요하다. SKC 관계자는 “그동안 쌓아온 노하우를 블랭크마크스 생산에 적용할 것”이라며 “천안에 마련한 SKC 반도체 소재 클러스터를 중심으로 반도체 사업을 고도화하고 국산화율을 높이기 위해 노력하겠다”고 말했다. 

 



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