14nm 생산능력 확대 위함

18일 중국 파운드리 기업 SMIC는 공시를 통해 지난해 3월 12일부터 올해 2월 17일까지 12개월 간에 걸쳐 램리서치에 기기 및 설비를 주문했다고 밝혔다. 총 금액은 6억 달러(약 7천170억 원)이다. 

공시에 따르면 SMIC가 이번 장비 구매는 주로 고객의 수요에 따라 생산능력을 확대하고 시장 기회를 높이기 위한 일환이었다. 구매한 장비는 웨이퍼 생산에 적용된다. 

일부 중국 언론은 "14nm 생산능력을 확대하기 위함"이라고 분석했다.  SMIC는 최근 열린 재무보고회에서 42억 위안 어치 반도체 장비를 구매해 14nm 공정 생산 능력을 확장할 것이라고 밝힌 바 있다. 

 

램리서치 로고. /램리서치 제공
램리서치 로고. /램리서치 제공

 

량멍쑹 SMIC CEO는 "14nm 월 생산능력이 올해 3월 4000개, 7월에 9000개, 12월 1만5000개로 늘어날 것"이라고 예상했다. 

SMIC는 상하이에 본사를 두고 상하이 소재 300mm 웨이퍼 공장과 200mm 웨이퍼 공장이 운영중이며 지분 투자를 통해 추가로 건설하고 있는 300mm 웨이퍼 공장이 있다. 

베이징에도 자사 300mm 웨이퍼 공장과 지분 투자를 통해 건설 중인 300mm 웨이퍼 공장이 있다. 톈진과 선전에는 각각 한개씩의 200mm 웨이퍼 공장이 있으며 장인(江阴)에도 지분 투자를 한 300mm 범핑 가공 합작 공장이 있다.  

램리서치는 1980년에 설립된 미국 글로벌 에칭 장비 기업으로 어플라이드머트리얼즈와 KLA 등 장비 기업과 함께 거론된다. 

지난해 95억 달러의 매출을 냈으며 글로벌 장비 산업 4위 기업으로 전 세계에 지사를 보유했다. 

램리서치는 지난해 한국 삼성전자 반도체 공장이 있고 SK하이닉스 반도체 공장에 근접한 경기도 용인시에 5000만 달러를 투자해 연구개발센터를 설립키로 하는 등 한국 투자도 확대하고 있다. 

램리서치의 핵심 제품은 에칭 장비(RIE/ALE), 증착장비(CVD/ECD/ALD), 스트립 및 클린(Strip & Clean) 장비다. 

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