반도체 세정 장비 업계 "유해물질 사용량을 줄여라"
반도체 세정 장비 업계 "유해물질 사용량을 줄여라"
  • 김주연 기자
  • 승인 2020.01.06 18:03
  • 댓글 0
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각국 유해물질 배출 규제 강화로 황산 등 사용량 저감 기술 수요 증가
배엽식 장비도 소재 사용량 줄이고 배치 타입 장비까지 다시 주목
최근 반도체 세정 장비 업계를 이끄는 키워드는 ‘친환경’이다.

각국이 유해물질 배출 규제를 강화하고 제조사도 원가 절감을 목적으로 소재 사용량 줄이기에 돌입하면서 유해물질 사용량을 저감할 수 있는 기술이 핵심으로 떠올랐다.

이에 근 20년간 매엽식(Single) 장비에 밀려 빛을 보지
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