ASML 장비 대체 기술 개발 가속

네덜란드 ASML의 노광장비 시장 독점 상황에 대항하기 위해 중국에서 육성되고 있는 장비 기업이 중국 과창반(科创板)에 이름을 올렸다. 

15일 중국 베이징증권감독국은 베이징 '유프리시전(U-Pricision)'이 과창반에 등록됐다고 밝혔다. 과창반은 중국에서 커촹반(科创板)이라고 불리는 일종의 미국 나스닥 같은 주식거래 시장이다. 

유프리시전은 중국에서 노광기 개발에 주력하는 기업으로서 이미 다양한 장비를 보유하고 있다. 

회사는 최근 자사가 생산한 노광기 듀얼 스테이지 장비가 ASML의 스테이지 기술 독점을 깼다고 발표했다. 이미 노광장비 분야에서 많은 성과를 내고 있다는 것이다. 

 

유프리시전 로고 이미지. /유프리시전 제공

유프리시전 로고 이미지. /유프리시전 제공

 

회사에 따르면 유프리시전이 개발한 노광기 듀얼 스테이지는 주로 65nm 이하 노드의 AfF 건식, 이머전식 스탭 스캐닝 노광기, KfF 스탭 스캐닝 노광기 등에 적용된다. 또 싱글 시리즈 제품은 i선, g선 스탭 스캐닝 노광기와 패키징 노광기 등에 응용된다. 

주로 하이엔드 장비, 초정밀운동시스템, 초정밀검측설비, 하이엔드 특수 제조 등 방면 상품을 개발하고 있으며 노광장비가 핵심 전략 제품이다. 이 회사는 다양한 노광장비를 라인업하고 있으며 관련 부품도 개발하고 있다. 

유프리시전은 중국 칭화대 IC장비팀 인력과 칭화대 및 친화대 산하 '베이징-칭화산업기술연구원' 출신이 설립한 회사다. 기술 개발을 통해 중국 시장에서 필요한 하이엔드 부품 등을 공급하고 있다. 

중국 과창반 소식지인 커촹반러바오에 따르면 회사는 중소기업 주식 거래 시장인 신싼반(新三板) 상장 기간 총 1억4200만 위안(약 236억1318만 원)을 모집하기도 했다. 올해 2월 13일 신싼반에서 명패를 내렸다.

지난해 3193만 위안의 매출을 거둬 전년 대비 44.53% 늘었다. 

2018년 글로벌 노광장비 시장에서 ASML의 점유율은 89%이며 올해 신장이 예상되고 있다. 

최근 미중 무역전쟁 등으로 ASML의 장비 수급에 차질이 빚어지고 있는 바, 관련 장비 기업에 대한 투자가 이어질 것으로 전망된다. 

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