식각장비, PVD, CVD 등 성과

중국 주요 장비 기업 나우라(NAURA)가 올 상반기 반도체, 태양광, 태블릿PC디스플레이 등 생산라인 건설 및 고정밀 부품 수요에 힘입어 큰 폭의 매출 성장세를 거뒀다. 

나우라는 실적발표를 통해 상반기에 지난해 같은 기간 보다 18.63% 늘어난 16억5500만 위안(약 2842억6280만 원)의 매출을 거뒀다고 밝혔다. 이중 매출의 대부분을 차지하는 전자공정 장비 매출이 12억4700만 위안(약 2141억5900만원)으로 전년 대비 17.13% 늘었고 전자부품 사업이 3억9800만 위안(약 683억5252만 원)으로 전년 대비 22.49% 증가했다.

나우라는 올해 상반기 반도체와 진공장비 애플리케이션 수요로 전자 공정장비 매출이 성장했다고 설명했다. 이중 식각장비, PVC, CVD, 버티컬챔버오븐(vertical chamber oven), 세정기 등 반도체 공정 장비가 중국 내 8인치와 12인치 메모리 칩, 아날로그 칩, 특수 칩 생산라인에 지속적으로 투입됐고, 일부 제품은 글로벌 일류 칩 생산라인과 첨단 패키징 생산라인에도 들어갔다고 부연했다. 

나우라 반도체 장비 이미지. /나우라 제공
나우라 반도체 장비 이미지. /나우라 제공

이외 중국 내 태양광 산업의 경기가 다소 상승하면서 태양광 전지칩 공정 장비 및 단결정로 사업 역시 소폭 성장했다. LED 산업은 성장이 둔화하면서 나우라의 LED 장비 사업 성장이 기대치에 미치지 못했다. 범반도체 애플리케이션 영역과 진공 열처리 영역 사업의 경우 전반적으로 안정된 발전 추이를 보였다. 

전자부품 사업의 경우 나우라는 올해 상반기 수요 증가와 신제품 출시 영향으로 성장세를 기록했다. 

나우라의 공정장비가 주로 반도체 장비, 진공 장비, 리튬전지 장비라면, 전자부품 사업은 주로 트랜지스터 부품과 마이크로파 부품 등 고정밀 전자 부품 영역이다.

나우라의 반도체 장비는 식각장비, PVD, CVD, 산화/확산로(Oxidation/diffusion furnace), 세정기와 기체 품질 제어기 등 종류를 포함한다. 회사는 반도체 장비가 이미 28nm 공급 능력을 갖췄으며 14nm 공정 장비 역시 고객 공정 검증 단계라고 전했다. 

상반기 나우라는 20억 위안 이하 금액을 '하이엔드 반도체 장비 연구개발 및 산업화 프로젝트', 그리고 '고정밀 전자 부품 산업화 기지 확장 프로젝트' 등에 투자해 28nm 장비를 기반으로 14nm 산업화와 5 및 7nm 장비 핵심 기술 연구개발에 나서고 있다. 

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