반도체 차세대 재료, 이번에는 코발트·저마늄
반도체 차세대 재료, 이번에는 코발트·저마늄
  • 김주연 기자
  • 승인 2019.06.21 09:25
  • 댓글 0
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코발트는 접점 및 로컬 인터커넥트에, 저마늄은 게이트 형성에 활용
7나노 시대의 문을 극자외선(EUV) 노광 장비가 열었다면, 다음 바톤은 재료가 이어 받는다. 재료·장비·구조의 변화가 번갈아가며 이끌어온 반도체 산업 혁신의 주인공이 다시 한 번 교체되는 셈이다.

금속 재료로 쓰이는 텅스텐⋅구리는 코발트가 대체하고, 채널 재료로는 저마늄(Ge)과 Ⅲ-...
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