국내 부품 협력사들과 협업… 식각·증착 공정 모듈 및 장비

램리서치매뉴팩춰링코리아 및 램리서치코리아 직원들이 24일 5000호기 출하 기념 행사에서 사진을 찍고 있다./램리서치
램리서치매뉴팩춰링코리아 및 램리서치코리아 직원들이 24일 5000호기 출하 기념 행사에서 사진을 찍고 있다./램리서치

램리서치(Lam Research)의 한국 생산법인 램리서치매뉴팩춰링코리아(Lam Research Manufacturing Korea)는 지난 24일 국내 생산 모듈 5000호기 출하 달성 기념 행사를 가졌다고 29일 밝혔다. 

경기도 오산에 위치한 램리서치매뉴팩춰링코리아는 램리서치의 글로벌 장비 제조 시설 중 하나로, 지난 2011년 설립 이후 반도체 식각 및 증착 공정 장비를 전 세계에 공급하고 있다. 

이날 행사에는 서인학 램리서치코리아 회장, 이체수 램리서치매뉴팩춰링코리아 사장을 비롯한 임직원과 협력사 관계자들이 참여했다. 

서인학 회장은 “이번과 같은 성과를 거둘 수 있었던 배경에는 고객 중심의 서비스 및 장비와 부품 국산화를 위한 램리서치의 노력이 있었기 때문이라고 생각한다”고 말했다. 

이어 이체수 사장은 “8년만에 5000호기 출하를 달성할 수 있었던 것은 안정적인 부품 공급을 위해 노력한 국내 여러 협력사의 지원과, 최고 수준의 장비 성능과 품질을 달성하기 위하여 열정과 헌신을 다해 준 임직원들이 있었기에 가능한 일"이라고 덧붙였다.

램리서치매뉴팩춰링코리아는 2011년 설립된 이후 국내 생산량을 지속해서 증가시켜 왔으며, 보다 복잡하고 다양한 제품군의 출하량을 증가시켜 반도체 장비 제조 업체로서 괄목할만한 성장을 보였다.  

현재 램리서치매뉴팩춰링코리아에서는 'Coronus 플라즈마 베벨 클린 모듈', 'ALTUS 텅스텐 증착 모듈', 증착 및 식각을 위한 전공정 핸들링 장치와 'Reliant'의 식각 챔버, 'Advanced Standalone Strip modules(Argos™)' 등 주요 반도체 프로세스 모듈을 생산하고 있다.

한편 올해로 한국 시장 진출 30주년을 맞는 램리서치는 장비 및 부품 국산화를 통해 한국 반도체 기술 성장 및 반도체 업계 생태계 강화를 위해 노력하고 있다.

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