소재 중요성 커질수록… 반도체社 "'이것' 도입해달라, 지원하겠다"
소재 중요성 커질수록… 반도체社 "'이것' 도입해달라, 지원하겠다"
  • 김주연 기자
  • 승인 2019.05.20 10:41
  • 댓글 0
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스마트팩토리 필요성 절실… 삼성·SK하이닉스 "데이터 공유·단가 상승 검토"
#올해 초 TSMC는 감광액(PR) 불량으로 수 만장의 웨이퍼를 폐기처분했다. 구공정에서 쓰던 이물질(Particle) 관리 기준을 그대로 적용, 이보다 더 작은 크기의 이물질을 발견해내지 못한 탓이다. 사건이 벌어지고 나서야 TSMC는 이물질 관리 기준을 상향했다.

반도체 제조 공정이 미세화되면서 소재의 중요
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