중국 정부 산하 반도체 기술 싱크탱크인 중국과학원 상하이 마이크로시스템 및 정보기술연구소가 알박(ULVAC)과 함께 ‘첨단 메모리 기술 공동 연구실’을 세웠다. 이번 공동 연구실 설립으로 반도체 메모리 영역의 기술 혁신과 산업 발전을 도모하겠다는 목표도 내놨다.

알박이 메모리 반도체 주요 기업에 장비를 공급한 기술력을 기반으로 중국 메모리 반도체 굴기에 얼마나 큰 영향을 할지 주목된다.

알박그룹은 진공기술 영역에서 다양한 애플리케이션을 보유했다. 디스플레이와 반도체, 태양광 등 산업에서 진공 장비와 부품, 재료, 진공 코팅막 사업을 한다. 반도체 영역에서는 특히 반도체 메모리 제조 장비 영역에서 다년간 기술을 축적해오고 있으며 이중 신형 첨단 반도체 메모리 제조 장비를 세계 일류 반도체 제조 기업에 공급하고 있다.

이번 상하이 마이크로시스템 및 정보기술연구소와 공동 메미로 기술 연구실을 설립한 것 이외에도 알박그룹은 이미 앞서 중국과학원 마이크로전자연구소, 시안교통대학과 공동으로 실험실을 설립했다.

중국과학원 상하이 마이크로시스템 및 정보기술연구소는 중국 정부 주도 반도체 연구의 ‘시초’가 된 곳으로 상당한 기술력을 보유했다.

중국과학원 상하이 마이크로시스템 및 정보기술연구소의 본래 이름은 중국과학원 상하이 야금 연구소로서 전신은 1928년 중국 국립중앙연구원 공정연구소다. 중국에서 가장 일찍 공학 연구를 시작한 조직 중 하나로 꼽힌다. 주목할만한 점은 상하이 마이크로시스템 및 정보기술연구소가 앞서 중국 첫 SOI 재료 기반의 0.13㎛ 공정 대규모 고신뢰성 특수 반도체 ASIC 칩 개발에 성공했다는 점이다. 이 칩은 중국 베이더우(Beidou) 위성 등 국가적 핵심 프로젝트에 적용됐다.

상하이 마이크로시스템 및 정보기술연구소에 따르면 중국 건국 이래 이 연구소가 획득한 국가급 과학기술상만 46개이며 성급 상은 347개로 이중 ‘알파분리막’ 기술은 국가 과학기술 진보 특등상을 받기도 했다. 또 고속, 초고속 듀얼극 디지털 반도체, 하이엔드 SOI 재료 연구개발 및 산업화 등 영역에서도 수상했다.