반도체용 핵심 장비 및 부품 개발

중국에서 건설되고 있는 의미있는 반도체 장비 공장이 올해 모습을 드러낸다. 중국 쓰촨성 난충(南充)에 지어지고 있는 쭝커지우웨이(中科九微)의 반도체 장비 공장이다. 이 공장은 2~3선 도시에 반도체 산업의 뿌리를 내리는 주요 사례 중 하나로 꼽힌다.  

쭝커지우웨이가 짓고있는 이 공장은 이달 막바지 건설 작업을 진행하고 있으며 4월 초 완공을 앞뒀다. 이어 후속 작업을 거쳐 올해 연말 운영을 시작한다.

지난해 9월 쭝커지우웨이와 순칭(顺庆)구가 협력 협약을 맺었으며 난충 까오신기술산업단지에서 건설 작업이 진행 중이다.

 

쭝커지우웨이는 쥐처그룹과 중국과학원마이크로전자연구소가 공동으로 설립했다. /각사 제공
쭝커지우웨이는 쥐처그룹과 중국과학원마이크로전자연구소가 공동으로 설립했다. /각사 제공

 

총 투자액은 28억 위안(약 4728억 원)으로 반도체 웨이퍼 생장 장비, 식각장비, 박막 침적 장비 핵심 부품과 각종 센서, 전원 제어 등 제품에 대한 연구개발과 생산을 하게 된다.

공장이 생산에 돌입한 이후 연간 50억 위안(약 8443억 원) 규모의 생산액을 창출할 것으로 예상되고 있다.

쭝커지우웨이는 2018년 9월 7일 설립됐으며 중국 쥐처(JUCHE)그룹과 중국 정부 산하 중국과학원마이크로전자연구소가 공동으로 세웠다. 중국과학원마이크로전자연구소와 쥐처그룹이 협력한 핵심 프로젝트로서 중국과학원마이크로전자연구소가 20% 지분을 보유했다.

수 년간 중국과학원마이크로전자연구소는 장비연구개발 영역에서 노하우와 IP를 축적해왔으며, 중국 장비 산업의 발전을 위해 2017년 일련의 ALD(Atomic Layer Deposition) 8개 시리즈를 개발해 50개 기관과 기업에 보급하기도 했다.

 

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