일본 로옴세미컨덕터, 독일 인피니언테크놀로지 등 글로벌 반도체 기업들은 수년 전부터 실리콘카바이드(SiC) 웨이퍼 기반 제품을 출시하고 자동차용, 통신용, 산업용 SiC 시장 개화를 준비해왔다. SiC는 고온·고압에 강해 차량용, 산업용 기기에 쓰기 적합한 화합물반도체의 일종이다. 한국 반도체 시장이 메모리와 스마트폰과 그 주변기기용 시스템반도체를 중심으로 형성돼 왔기 때문에 그동안 SiC 기반 반도체 설계 업체나 관련 소재 업체는 그리 많지 않았다.

최근 한국에서도 SiC 반도체 관련 투자가 늘고 있다. 

아이에이 자회사 트리노테크놀로지는 SiC 기반 전력반도체 상용 샘플을 최근 출시했다. 오는 2020년 수소전기차용 고전력 SiC 반도체를 생산하는 게 목표다. 아이에이는 중국 장가항시와 이 지역 합자법인 아이에이반도체기술유한공사를 설립, 트리노테크놀로지가 개발한 반도체 생산 기지까지 갖췄다. 아이에이는 김동진 전 현대차 부회장이 지난 2012년 단독 대표이사가 된 이래 차량용 반도체 개발에 집중해왔다. 공조부품업체 세원과 상호 투자를 통해 이 회사에 전력모듈 등을 공급한다.

예스티파워테크닉스는 21일 국가기술표준원으로부터 SiC 파워반도체 제조 핵심 기술을 기반으로 신기술(NeT) 인증을 획득했다. 이 회사는 지난 8월 예스티로부터 70억원을 투자 받고 관계사로 편입됐고, 총 200억원 규모의 투자를 단행해 SiC 파워 반도체 제조용 전용 시설을 구축, 현재 양산 중이다. 예스티는 반도체, 디스플레이용 열처리 장비 전문업체다. 

이 외에도 광전자그룹(AUK), 메이플세미컨덕터 출신 연구진들이 나와 설립한 파워테크닉스 등 중소기업들이 연구개발(R&D) 중이다. 

SiC 웨이퍼뿐만 아니라 고성장하는 반도체 공정용 SiC 소모품 시장도 활기를 보인다. 

하나머티리얼즈는 제3자 유상증자를 통해 글로벌 반도체 장비 기업인 일본 도쿄일렉트론(TEL)으로부터 5억엔(약 49억원) 규모 투자를 유치했다. 이 자금은 SiC 시설 투자에 사용할 계획이다. 반도체 식각(에칭) 공정에는 플라즈마를 균일하게 생성시켜주는 일렉트로드(Electrode), 정전척(ESC Chuck)을 보호해주는 실리콘 링(Silicon Ring) 등이 쓰인다. 하나머티리얼즈는 실리콘 기반 공정 소모품 사업을 다각화, 사업 분야를 SiC 소재로 넓힌다. 화학기상증착(DVD)용 SiC 링, ESC척 등을 개발하고 있다.

반도체 공정용 SiC 소모품 시장에 일찌감치 자리잡은 티씨케이는 SiC웨이퍼 사업으로 시작, 지난해 연 매출액 1000억원(약 1300억원)을 넘었고, 올해 3분기 누적 매출액이 1300억원(1290억원)에 육박한다. 반도체 공정용 솔리드 SiC 웨이퍼, 식각장비용 SiC 링 등이 주요 매출처다. 지난 2000년 일본 토카이카본(TOKAI CARBON, 최대주주)과 케이씨텍(현 케이씨) 합작사로 출발한 티씨케이는 토카이카본으로부터 원재료를 매입, 안정적인 생산 구조를 갖췄다. 

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