TSMC가 내년 5nm 공정 시생산에 나서 2020년 양산을 계획하고 있는 가운데 중국 반도체 장비 기업이 이 생산라인에 제품을 공급한다.

중국 AMEC(Advanced Micro-Fabrication Equipment)은 자체 개발한 5nm 플라즈마 식각장비가 TSMC의 검증을 거쳐 성능 우수 인증을 받아 5nm 공정 생산라인에 적용될 예정이라고 밝혔다. 식각장비는 반도체 제조 공정의 핵심 장비로서 AMEC이 주요 기술을 개발했다는 설명이다.

AMEC의 시각 장비는 식각 과정에서 온도 제어 정밀도를 섭씨 0.75도 내로 유지하면서 국제 선두 수준에 이르렀다고 중국 언론은 소개했다. 핵심 부품인 기체 펌프의 경우 AMEC과 중국 기업이 공동으로 개발해 새로운 공정을 적용했으며 이 공정을 적용한 금속 자기 입자 정밀도가 높은 것으로 알려졌다. 중국 기술로 자기 코팅된 펌프 사용 수명이 갑절가량 늘어나면서 가격은 5분의 1 수준이다.

이 회사는 2004년 40여 명의 반도체 장비 전문가가 세웠다. 당시 90nm 선폭 공정이 가장 첨단 공정이었던 시기였지만 AMEC은 40nm 식각장비 연구개발을 시작했다. 이어 현재 10여개 국가에서 온 600여 명의 직원이 근무하는 기업으로 성장했다.

또 1200여 건의 국내외 특허를 신청했다. 앞서 4차례의 서양 기업과 지식재산권 분쟁을 겪기도 했다.

AMEC은 이미 램리서치(Lam Research), 어플라이드머트리얼스, 도쿄일렉트론(TEL), 히타치 등 글로벌 선두 장비 기업과 함께 7nm 반도체 식각장비 공급업체로 이름을 올리고 있다. 이어 내년 5nm 공정에서도 시장 점유율을 확대해나갈 계획이다.